大国重器 芯片高端装备迈向新征程

在中芯国际大生产线上稳定流片逾200万，首台200mmCMP设备实现了销售。这是电科装备承担“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项（以下简称02专项）所取得重大成果的缩影。

9年间，电科装备共承担了02专项“90—65nm大角度离子注入机研发及产业化”“封装设备关键部件与核心技术”“45—22nm低能大束流离子注入机研发及产业化”“28—14nm抛光设备及成套工艺、材料产业化”“300mm超薄晶圆减薄抛光一体机研发与产业化”等项目。

9年来，在02专项的支持下，电科装备先后突破了离子注入机、化学机械抛光设备（CMP）等若干攻关难度大、带动力强的集成电路关键装备核心技术；取得了发明专利授权146项，获得了省部级以上奖励22项；建成了符合SEMI标准的离子注入机批量制造平台、设立博士后科研工作站；CMP研发平台获批“北京市化学机械平坦化工艺设备工程技术研究中心”；国产首台离子注入机、200mmCMP设备进入中芯国际大生产线，先进封装设备具备集成服务能力，进入国内先进封装龙头企业……