打破垄断 锻造出离子注入机国产品牌

突破关键技术，取得发明专利101项，国际专利2项，已实现系列化产品并用于中芯国际90nm、55nm、40nm、28nm工艺生产线……这是电科装备承担02专项两个离子注入机研发项目所取得的部分成果。

离子注入机是集成电路制造至关重要的核心装备——主要是将粒子注入到半导体材料中，从而控制半导体材料的导电性能，进而形成PN结等集成电路器件的基本单元。

作为国内唯一一家集研发、制造、服务于一体的离子注入机供应商，电科装备在承担了02专项后，在离子注入机研发方面，一年迈上一个新台阶。

2014年，12英寸中束流离子注入机以优秀等级通过国家02专项实施管理办公室组织的验收。2015年，在中芯国际先后完成了55nm、45nm和40nm小批量产品工艺验证，国产首台中束流离子注入机率先实现了量产晶圆过百万片。2016年，推出满足高端工艺的新机型45—22nm低能大束流离子注入机，中束流、低能大束流系列产品批量应用于IC大线。2017年，离子注入机批量制造条件厂房及工艺实验室投入使用，具备符合SEMI标准的产业化平台，年产能达50台，并应用信息化管理系统实现离子注入机批量制造全程质量控制及追溯。

“积厚成器，对于装备制造业来说，不仅要关注单台设备的开发，在一定范围内成套供应，形成平台化的生产能力更加重要。”董事长、党委书记刘济东强调，电科装备自主研发的离子注入机打破了高端市场被美日垄断的局面，打造了离子注入机国产品牌。